新莱应材获得实用新型专利授权:“真空蝶阀以及半导体工艺腔体”

小微 2024年12月17日 阅读:54216

新莱应材获得实用新型专利授权:“真空蝶阀以及半导体工艺腔体”
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示新莱应材(300260)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“真空蝶阀以及半导体工艺腔体”,专利申请号为CN202421014251.0,授权日为2024年12月17日。

专利摘要:本实用新型属于阀门技术领域,公开了一种真空蝶阀以及半导体工艺腔体,真空蝶阀包括阀体、阀杆、蝶板以及驱动机构,蝶板内置于阀体,阀杆转动穿设于阀体并与蝶板连接,驱动机构包括驱动箱、驱动电机、第一传动组件以及第二传动组件,驱动箱连接于阀体,驱动电机连接于驱动箱;第一传动组件的输入端连接于驱动电机的电机轴;第二传动组件的输入端连接于第一传动组件的输出端,第二传动组件的输出端连接于阀杆,第二传动组件能够使阀杆的转速小于电机轴的转速。本实用新型的真空蝶阀,可采用精度更低的驱动电机驱动阀杆转动,控制精度相同的同时,成本更加低廉,且驱动电机的精度有所降低,可使驱动电机工作更加稳定,不易受到其他因素的影响。

新莱应材获得实用新型专利授权:“真空蝶阀以及半导体工艺腔体”
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今年以来新莱应材新获得专利授权21个,较去年同期增加了133.33%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5013.24万元,同比增12.45%。

数据来源:天眼查APP

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